产品特性:传感器 | 品牌:英国真尚有 | 型号:EVCD系列 |
感应方式:详见技术规格书 | 感应距离:详见技术规格书 | 响应时间:详见技术规格书 |
输入电压:9~36VV | 输出信号:见规格书 | 侵入防护等级:IP67 |
应用领域:测量仪器 |
在现代制造业中,晶圆形貌测量是确保产品质量和性能的关键环节,尤其是在半导体和光学领域。晶圆的形貌不仅影响最终产品的精度和稳定性,还直接关系到后续工艺的顺利进行,因此,如何准确、高效地进行形貌测量在晶圆的生产和检测过程中成为亟待解决的问题。晶圆形貌测量的主要检测环节包括厚度测量、平整度检测和表面缺陷分析等,这些检测不仅要求高精度的测量结果,还需具备良好的重复性和稳定性,以满足不断提升的工业标准和客户需求。检测设备的适应性也是一个重要因素,能够在多种材料和复杂形状中进行准确测量的设备将受到广泛青睐。
市场上现有的晶圆形貌测量方案主要分为接触式和非接触式两种。接触式测量设备如机械式厚度计,虽然简单直观,但在精度和速度上常常无法满足高要求的应用场景。非接触式测量设备,尤其是光学测量仪器,虽然在测量速度和效率上具有优势,但在复杂形状和不同材质的适应性上往往存在不足。这些传统检测方案在高精度测量和复杂形貌分析中面临着不同程度的挑战,无法有效满足当今制造业对精细化和高效化的迫切需求。
在此背景下,
英国真尚有的EVCD系列共焦位移传感器凭借其独特的技术优势***。其核心性能指标显示,采样频率可高达33,000Hz,分辨率达到1nm,线性精度可达±0.01%F.S.,特定型号更能实现±0.01μm的精度。这些***的性能使得EVCD系列光谱共焦位移传感器在晶圆形貌测量领域具备了***的竞争优势。此外,EVCD系列高精度位移传感器还具备强大的多材质适应性,能够稳定测量金属、陶瓷、玻璃等多种材料,最小光斑尺寸可达2μm,可测倾角在常规型号中可达±20°,在特殊设计型号中甚至可达到±45°。这使得它能够轻松应对复杂形状和倾斜表面的测量需求。与市场上其他同类产品相比,英国真尚有的EVCD系列高精度位移传感器不仅在测量精度和速度上***,更在多层测量和厚度测量方面展现出优越性,尤其是在无需已知折射率的情况下,能够直接测量透明材料的厚度。 总之,英国真尚有的EVCD系列光谱共焦传感器凭借其高精度、高效率和广泛的适用性,为晶圆形貌测量提供了理想的解决方案。随着制造业对测量精度和效率的要求不断提升,EVCD系列高精度位移传感器将成为推动行业进步的重要力量,助力企业在激烈的市场竞争中立于不败之地。
针对特殊应用,市场上绝大多数品牌不支持定制或者无法小批量定制,有些即使能定制但费用高昂,而英国真尚有持续提供小批量、低成本定制传感器或方案,既满足了项目的特殊要求,又兼顾了低成本,直接促成了多个项目的成功。